为湾区强“芯”！广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线

7月11日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（下称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式举行。会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，二期产业孵化区正式封顶，一批半导体项目现场签约，为佛山半导体产业发展注入“芯”动能。

广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线仪式现场。

活动当天，广东微纳院与苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等12家企业、科研院所签订中试合作协议。

广东微纳院与华南师范大学工学部还举行了合作签约仪式，并与广东绿展科技有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等三家企业分别达成产学研合作，多方将开展多层次、多形式的合作，探索“企业家+科学家+工程师”的科技成果转化新模式，以高校资源赋能、以科研院所工程化能力支撑，加速人才链、创新链和产业链的深度融合，实现科技与产业“双向奔赴”。

佛山市副市长陈新文表示，希望广东微纳院继续发挥引领龙头作用，深化半导体中试平台+产业孵化育成的创新模式，为企业解决技术瓶颈和难题，推动半导体产业向更高层次、更广领域发展。

“希望广东微纳院继续加强科研攻关和中试平台工艺能力建设，努力实现引领性原创性技术突破，加快重大科技成果高效转化和迭代应用，探索建立科技创新和产业创新互促互强的半导体向‘新’生态。”中国科学院苏州纳米所党委书记邓强说。

此前，南海在佛山大学仙溪校区启动全面深化校地融合高质量发展行动，与区内10所高校（高职）全面深化战略合作。而此次，广东微纳院与华师大工学部合作签约，是南海全面深化校地融合高质量发展系列活动的第二站，双方将在成果转化、仪器共享、人才培养和创新创业等方面开展合作。

南海区副区长劳剑峰表示，南海促成华师大工学部与广东微纳院的合作签约，就是希望能够将南海的资源与华师大工学部的资源进行共享，通过强强联合，以科技创新推动产业创新，促进社会生产力实现跃升。

广东微纳院是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位，专注建设半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试平台，为佛山市半导体产业强链延链、大湾区“芯”动能高质量发展提供技术平台支撑。

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广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线仪式现场。

据介绍，该平台具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力，2—8吋氮化镓基材料外延生长能力，其中晶圆加工产能为8吋5000片/月，材料外延生长总产能为4吋4000片/月。

自广东微纳院成立以来，已为百余家科研院所、高校和企业提供技术服务和人才输出，获得了业界的广泛认可，成为广东半导体产业的重要支撑平台之一。广东省科技厅二级巡视员夏奇峰表示，中试平台是连接实验室与产业界的桥梁，希望广东微纳院继续发扬创新引领精神，不断提升产业辐射策源能力，为广东省和大湾区半导体产业的蓬勃发展注入新动能。

依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。活动上，还举行了封顶仪式，6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议。

南方+记者 肖霞

通讯员 黎敏珊

通讯员供图

【作者】 肖霞

【来源】 南方报业传媒集团南方+客户端