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为湾区强“芯”!广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线

7月11日,广东中科半导体微纳制造技术研究院(下称“广东微纳院”)半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式举行。会上,广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线,二期产业孵化区正式封顶,一批半导体项目现场签约,为佛山半导体产业发展注入“芯”动能。

为湾区强“芯”!广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线

广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线仪式现场。

活动当天,广东微纳院与苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等12家企业、科研院所签订中试合作协议。

广东微纳院与华南师范大学工学部还举行了合作签约仪式,并与广东绿展科技有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等三家企业分别达成产学研合作,多方将开展多层次、多形式的合作,探索“企业家+科学家+工程师”的科技成果转化新模式,以高校资源赋能、以科研院所工程化能力支撑,加速人才链、创新链和产业链的深度融合,实现科技与产业“双向奔赴”。

佛山市副市长陈新文表示,希望广东微纳院继续发挥引领龙头作用,深化半导体中试平台+产业孵化育成的创新模式,为企业解决技术瓶颈和难题,推动半导体产业向更高层次、更广领域发展。

“希望广东微纳院继续加强科研攻关和中试平台工艺能力建设,努力实现引领性原创性技术突破,加快重大科技成果高效转化和迭代应用,探索建立科技创新和产业创新互促互强的半导体向‘新’生态。”中国科学院苏州纳米所党委书记邓强说。

此前,南海在佛山大学仙溪校区启动全面深化校地融合高质量发展行动,与区内10所高校(高职)全面深化战略合作。而此次,广东微纳院与华师大工学部合作签约,是南海全面深化校地融合高质量发展系列活动的第二站,双方将在成果转化、仪器共享、人才培养和创新创业等方面开展合作。

南海区副区长劳剑峰表示,南海促成华师大工学部与广东微纳院的合作签约,就是希望能够将南海的资源与华师大工学部的资源进行共享,通过强强联合,以科技创新推动产业创新,促进社会生产力实现跃升。

广东微纳院是由佛山市、南海区两级政府共同建设,中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位,专注建设半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试平台,为佛山市半导体产业强链延链、大湾区“芯”动能高质量发展提供技术平台支撑。

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为湾区强“芯”!广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线

广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线仪式现场。

据介绍,该平台具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力,2—8吋氮化镓基材料外延生长能力,其中晶圆加工产能为8吋5000片/月,材料外延生长总产能为4吋4000片/月。

自广东微纳院成立以来,已为百余家科研院所、高校和企业提供技术服务和人才输出,获得了业界的广泛认可,成为广东半导体产业的重要支撑平台之一。广东省科技厅二级巡视员夏奇峰表示,中试平台是连接实验室与产业界的桥梁,希望广东微纳院继续发扬创新引领精神,不断提升产业辐射策源能力,为广东省和大湾区半导体产业的蓬勃发展注入新动能。

依托半导体中试平台,广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区,建设6万平方米专业化半导体产业载体,其中洁净厂房3.4万平方米,预计2025年一季度进入试运行阶段,将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。活动上,还举行了封顶仪式,6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议。

南方+记者 肖霞

通讯员 黎敏珊

通讯员供图

【作者】 肖霞

【来源】 南方报业传媒集团南方+客户端

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