HVC-2700DA镀膜机设备配置表
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序号 品名 数量 单位 品牌
1 机腔 1 台 HVC-2700DA
2 机械泵 2 台 韩国MS500AD/VP28K真空泵
3 罗茨泵 2 台 韩国BM-24A/MS500AD罗茨泵
4 电子枪 1 台 韩一
5 电子枪钳锅 1 套 12穴
6 离子源 2 台 韩一霍尔源
7 流量计(MFC) 2 路 韩一
8 压控APC 1 套 韩一
9 电控箱 加热系统 1 套 下加热
晶控 1 台 XTC晶控
PLC 及系统 1 台 韩一 原装
10 Poly-Cold冷冻机 2 台 韩国V-PLUS1000H
11 真空控制计 1 套 韩一
12 护板 1 套 韩一
13 阻蒸 1 套 韩一
主要功能：
主要用于可见~短波红外波段光学增透膜、高反膜、截止滤光片，窄带、超窄带、极窄带滤光片等光学薄膜蒸镀，配备两把电子枪和等离子体辅助源，一次可蒸镀多片不同尺寸（1寸、2寸、3寸、4寸、5寸、6寸、8寸、40mm*40mm等）的样品。
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